微小孔加工的特点:
高品质圆柱孔、方孔、异型孔等各类气膜孔加工;
流量控制板、栅较板等零件上海量群孔高效高精度加工;
汽车领域喷油嘴微米级倒锥喷油孔制孔;
电子领域柔性陶瓷、PCB、FPC、蓝宝石、玻璃、IC载板等高品质高效钻孔。
精密切割的特点
电子通信领域行波器、引线等零件复杂图形无烧蚀高精度切割;
电子领域玻璃、蓝宝石盖板,氧化铝、氧化锆、陶瓷基板、硅晶元、LED芯片等高品质高效切割;
医疗领域心脏支架等薄壁管高精度高一致性切割。
缝宽:≧0.05mm 精度:0.005mm 厚度:0.5mm以内
微纳加工即是微米级纳米级单位的加工常常应用在材料科学和芯片设计等领域,通俗的讲就是把图形转移到衬底上面去,一般衬底是Si,做微纳加工步是要做光刻版的。
步版图:一般要用CAD,EDA,Matlab,L-edit,potel软件做图形
第二步制作光刻版
光刻版的材料:光刻版即是掩膜板材质只有两种石英和苏打(石英的透光率要比苏打的透光率要好)苏打和石英上面呢有一层ge金属(ge金属不透光)ge金属上面还有一层光刻胶。
微纳加工技术指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术,涉及领域广、多学科交叉融合,其主要的发展方向是微纳器件与系统(MEMS和NEMS)。微纳器件与系统是在集成电路制作上发展的系列技术,研制微型传感器、微型执行器等器件和系统,具有微型化、批量化、成本低的鲜明特点,对现代生活、生产产生了巨大的促进作用,并催生了一批新兴产业。
微纳加工技术是先进制造的重要组成部分,是衡量国家制造业水平的标志之一,具有多学科交叉性和制造要素较端性的特点,在推动科技进步、促进产业发展、拉动科技进步、***安全等方面都发挥着关键作用。微纳加工技术的基本手段包括微纳加工方法与材料科学方法两种。很显然,微纳加工技术与微电子工艺技术有密切关系。