硅片切割一般有什么难点?
2020-07-11 浏览次数:1792次
硅片切割难点:
1、杂质线痕:由多晶硅锭内杂质引起,在切片过程中无法完全去除,导致硅片上产生相关线痕。
2、划伤线痕:由砂浆中的SIC大颗粒或砂浆结块引起。切割过程中,SIC颗粒“卡”在钢线与硅片之间,无法溢出,造成线痕。表现形式:包括整条线痕和半截线痕,内凹,线痕发亮,较其它线痕更加窄细。
3、密布线痕(密集型线痕):由于砂浆的磨削能力不够或者切片机砂浆回路系统问题,造成硅片上出现密集线痕区域。
4、错位线痕:由于切片机液压夹紧装置表面有砂浆等异物或者托板上有残余胶水,造成液压装置与托板不能完全夹紧,以及托板螺丝松动,而产生的线痕。

华诺立志成为国内激光精密微加工和微制造的**者,为客户提供定制化、低成本和完善的高端激光加工解决方案。激光切割打孔设备可加工0。1-6mm厚玻璃,可钻孔直径为0。2-90mm,目前广泛应用在医疗,光学,显示屏,电子通讯,照明等行业。
华诺激光切割打孔,机器优点:1、采用皮秒或者飞秒激光器,**短脉冲加工无热传导,适于任意**&无机材料的高速切割与钻孔,小10μm的崩边和热影响区;
2、采用单激光器双光路分光技术,双激光头加工,效率提升一倍;
3、CCD视觉预扫描&自动抓靶定位、大加工范围650mm×450mm、XY平台拼接精度≤±3μm;
4、支持多种视觉定位特征,如十字、实心圆、空心圆、L型直角边、影像特征点等;
5、自动清洗、视觉检测分拣、自动上下料;
6、8年激光微细加工系统研发设计技术积淀、性能稳定、无耗材。
wb410782.cn.b2b168.com/m/
857705609